随着世界进入科技信息化时代，各行业也在有序提升科技水平，分析行业也在快速发展。 icp光谱仪器设备也在逐步完善。性能完善的同时也需要我们完善日常的维护工作，在使用过程中，要按照仪器使用管理规程做好日常维护保养工作。主要项目包括直读光谱仪外部的润滑、清洁、紧固和外观检查。
几乎所有的直读光谱仪设备都要按照“专人负责、预防为主、定期维护、及时维护”的原则进行。新购买的icp光谱仪在调试和操作前必须熟悉其性能并掌握其操作规程。测试人员负责炉前实验室仪器设备的维护、调试和小修，务必严格遵守操作规程。经常擦拭镜片，清洁缝隙，更换光纤。由于直读光谱仪使用时间长，激发台容易因点数过多而产生放电和漏气，导致光强上不去。始终清洁激发台和火花室。每次使用完毕后，炉前的实验室仪器应恢复原状，擦拭干净，同时填写使用记录。仪器必须得到妥善保护和合理使用。出现故障时，不得使用。如果有问题，就应该修理。
与其他大型精密仪器一样，我国大部分实验室都没有防尘和滤尘设施。当实验室需要使用排风扇将仪器的热量和运行过程中产生的有毒气体排出时，实验室与外界存在压差，导致实验室内出现负压，室外空气中含有大量灰尘从门窗缝隙流入室内，大量堆积在仪器各部位，容易引起高压元件或连接器打火、短路、漏电等各种故障板、接线和插座。因此，icp光谱仪需要经常进行除尘。雾化器是喷射系统的精密关键部件，需要良好的维护和使用。应定期清洗，特别是高盐溶液测定后，盐分会堆积在雾化器顶部和炬管喷嘴处，造成气溶胶通道不畅。在启动和测量之前，必须做好安排，并提前做好各项准备工作，频繁打开仪器容易造成损坏。
