ICP光谱仪的故障与其使用环境、仪器性能、操作人员的业务能力及日常维护水平密切相关。其故障分为性能故障和使用故障两种。性能发生故障时，是设备本身的设计或安装，或者是部分零件不满足要求而引起的；起因是故障时机器的使用环境不符合机器的要求，或者操作者没有按照规定使用和维护机器。同样的故障既有性能故障，也有使用故障，必须根据设备的故障现象逐一识别。
ICP光谱仪无信号或信号不稳定的故障解读
首先我们来说说无信号是什么情况
1、在检查中，如果突然没有输出数据，则有可能是雾化器的取样管或承载管脱落的原因。
2、检查时无法获取积分数据，可能是光学系统的控制异常。例如，由于光栅的旋转异常，所选择的某种元素的光谱线不能正确照射出射狭缝。此时，可以暂时中断当前的分析，再次进行波长校正。同时进行多元素测量时，只需对无法检测的元素进行波长校正，进入分析状态后再继续测量。
ICP光谱仪信号不稳定的原因主要有这几点
1、RSD增大后雾化室仍未出现故障征兆时，请检查雾化器和氩气导管的连接口及其密封性。Tygon和其他聚合物导管长时间使用会变硬，失去柔软的气密性。在很多ICP分析工作中，即使氩气的损失为1%，也会发生数%的变化。雾化装置也需要检查，防止少量空气进入。
2、检测中发现元素扫描强度突然下降或短期精度达不到要求时，可以检查雾化器和样品管，如果其中一个堵塞，可以更换雾化器或清洗雾化器。雾化器的雾化效率低时，可以确认雾化器前端的喷嘴是否破损，所以也可以更换雾化器。如果发现工作中载气流量大大低于正常设定值，无论怎么调节载气流量都没有太大变化，则表示雾化器很可能堵塞或破损。
