icp光谱仪校准的目的是消除环境温度引起的光学系统的漂移和机械振动引起的机械位移。通常，在设备安装调整中首先进行光学系统的校正；在仪器正常使用中，根据环境温度的条件适当进行光学系统的校正。在icp光谱仪中，由于装置本身有恒温系统，操作者只要将装置控制在恒温条件下，就可以正常进行分析测量，而无需频繁校正光学系统。
一、光学系统的校正
ICP光谱仪操作软件自动控制仪器每半小时迅速校准一次，每两小时*校准一次光学系统。如果实验室的环境温度发生较大变化，则无法保证工作条件，测量结果的数据有可能漂移。
使用水银灯进行光学系统的校正，选择Hg8线(波长253.652nm)，机器内部设置有水银灯，但按照操作顺序操作即可。
2、波长校正
波长校正是为了使实际波长与检测器的检测波长一致。
大致分为两个支部。首先用调整仪器校正分光器，然后用漂移补偿的方法减少环境变化引起的光谱线的位移。光谱校正是指校正仪器实际测量的波长与理论波长之间出现的偏差，一般通过测试一系列元素的波长进行校正，校正后的数据是校正光谱彼此的校正数据。
由于漂移讲座在光普计的谱线位移与波长、温度、湿度、压力变化之间存在非线性函数关系，因此该函数关系具有普遍的适用性。其中0级光谱线因波长、温度变化而产生的位移最大。漂移补偿是常规的监测过程，原理是在进样间隙监测多条氢气线的波长，将实际值与理论值进行比较，补偿误差。
3、等离子体位置修正
等离子体位置校正的目的是将光源对准光学系统。通常，在重新组装注射系统后，点燃等离子体，用Mn溶液(10ug/mL)进行校正。
在等离子体位置校正过程中，应关注的是选择Mn257.610波长，确保Mn溶液正常进入雾化器，形成气溶胶传播进入等离子体。如果不满足上述条件，校正有可能失败。
