icp光谱仪由光源、分光系统、检测系统和数据处理系统四个部分组成。其分析过程主要分三步，即激发、分光和检测。
1、激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子也可能进一步电离成离子状态。原子及离子在光源中激发发光；
2、利用分光器把光源发射的光色散为按波长排列的光谱；
3、利用光电器件检测光谱，按所测得的光谱波长对试样进行定性分析，或按发射光强度进行定量分析。
icp光谱仪操作使用的相关注意：
1、在光谱仪上测量的样品应确保无沉淀或悬浮物，必要时应重新过滤，一此粒很细的胶体溶液应离心，以免发生雾化器堵塞。过高盐分的样品应适当稀释后才能测定。
2、使用时严格按照仪器操作规程操作。使用ICP时，要特别注意点炬时应确保冷却水水温、氩气压力正常，蠕动泵泵管安装正确，炬管和线圈干燥等才能点炬。
3、批量样品的测定应注意样品间应用稀的酸或去离子水清洗，个别高含量的样品应稀释后重新测定，并注意清洗足够的时间，以避免污染下一个样品。仪器测量一定时间应插入测定一些已知浓度的质量量控制样品进行中间检查；检查测量结果是否在一给定的结果范围，如测量结果误差较大，应根据情况重新做工作曲线或停机检查。
4、icp光谱仪使用时必须注意检查仪器的性能。一般仪器需预热稳定，测定样品前首先应注意检查仪器的灵敏度和精密度。可查乏看某标准溶液的信号强度和多次测定的相对标准偏差是否满足要求。虽然仪器的灵敏度在一定范围内波动，但仍有一合理的波动范围，如信号强度或测量RSD异常应注意检查。
